石英坩堝對晶體氧含量的影響
上傳時(shí)間:2021年03月24日 16:22:53
石英坩堝是一種耐溫性強(qiáng)、錦州坩堝高純度的器皿在我們生活中的使用也是比較廣泛的,它在拉單晶的時(shí)候有比較好的效果。但是很多人對產(chǎn)品的晶體中含氧量的影響不是很了解,接下來我們就一起來了解下:
1、單晶中氧的主要來源
雖然坩堝的熔點(diǎn)要高于硅料的熔點(diǎn),但是在高溫過程中熔融的液態(tài)硅會(huì)侵蝕坩堝,錦州坩堝從而導(dǎo)致少量的氧進(jìn)入晶體內(nèi)部。在硅的熔點(diǎn)(1420℃)附近,溶硅與坩堝作用,生成SIO進(jìn)入硅溶體。然后經(jīng)過機(jī)械對流、熱對流等方式使SIO傳輸?shù)饺垠w表面,因此到達(dá)硅熔體表面的SIO以氣體形式揮發(fā),而剩下的一小部分SIO溶解在硅液中以氧原子形態(tài)存在于液體硅中之后進(jìn)入晶體內(nèi)從而影響單晶的氧含量。
2、坩堝阻止氧含量釋放的措施
氧主要來源于石英坩堝,因此如何降低坩堝中氧的釋放則是單晶降低氧含量的重要手段,錦州坩堝而產(chǎn)品品質(zhì)的好壞直接關(guān)系到放含量的釋放程度。坩堝中氧的釋放過程實(shí)際上就是坩堝氣泡層穿透透明層向硅液中釋放氧的過程,而在坩堝內(nèi)層燒結(jié)一層 3-5mm左右的透明層,從而既保證了坩堝內(nèi)表面的純度又不致于使坩堝軟化點(diǎn)過低。因此,坩堝透明層的質(zhì)量好壞決定了坩堝氣泡的釋放程度。
以上就是小編與大家分享的關(guān)于石英坩堝對晶體中氧含量的影響,分別從單晶中氧的來源和坩堝阻止氧含量釋放的措施介紹了,希望可以幫助到大家在使用石英坩堝的時(shí)候能夠更加的順利。